半導体産業向け精密技術で業界をリードするメーカーが、高度に自動化されたハイスループットなウエハー検査用の先進的なウエハープロービング検査機を開発中です。XYステージを備えたこの機械は、合計 15軸以上のモーションを含み、そのうち 4軸の Elmo 軸が重要で高性能なマシンモーションを行います。 Platinum Maestro もまた、すべてのモーション軸のマスターコントローラーとして選ばれました。

ウエハープロービングマシンは、半導体製造工程でウエハーを個々のダイに切断する前に、各ダイの集積回路を電気的にテストするために使用される自動テスト・マシンである。この工程では 2本のプローブが集積回路間を (可能な限り迅速に) 移動し、回路内のトランジスタ、相互接続、その他の素子の電気的特性を測定・評価します。これらの測定は極めて正確である必要があるため、システム内の電気ノイズは最小限に抑えなければなりません。

Elmo の包括的なソリューションは、いくつかの主な理由から優位性を発揮しました。競合他社よりも優れたサーボと
モーションにより、動作間の整定時間は 10ms (仕様では30ms) に短縮されました。これは、優れたサーボと多軸制御能力が
相まって実現した成果であり、各プローブ間の動作時間が短縮され、全体的なスループットが向上します。さらに、Elmo の
サーボ制御により、静止時のジッターは 20nm未満 (仕様では100nm未満) に抑えられました。

高速かつソフトなスイッチング技術 (FASST) により、Elmo 独自の EMI は無視できるほど小さく、このようなプロービング装置にとって極めて重要です。プローブの電気測定はプロセスの重要な要素であり、いかなる EMI も妨害となる可能性があるため、EMIフィルターの追加が必要となります。Elmo のごくわずかな EMI により、かさばり、高価で、時間のかかるフィルターは廃止され、その結果 より高性能で、無駄のない機械が実現しました。この顧客は所望の性能を達成しましたが、電気的に複雑な環境用のイミュニティ ソリューションの開発に時間と労力を費やす必要はありませんでした。

機械全体の生産性への貢献だけでなく、Elmo 独自の物理的特性は機械をさらに改善しました。小型でありながら超強力なサーボドライブは、機械の内部や可動負荷に取り付けられました。ドライブの最小サイズに大きく貢献する電力変換効率は、メンテナンスなどのオーバーヘッドを必要とすることが多いエネルギー消費の少ない冷却方法によって、機械自体の効率が向上することも意味します。機械的な衝撃や高い加速度に耐えるドライブの能力は、機械の奥深くや動く機械に設置することで、機械に出入りするケーブルやケーブルキャリアだけでなく、電気ボックス全体を節約できることを意味します。電気ボックスの撤去により、体積が約 30％削減されました。

このプロジェクトは、機械全体の生産性を大幅に向上させながら、革新的なモーション技術によってコストを削減できたことを例証しています。機械の設置面積を縮小しながら、全体的な処理能力を大幅に改善しました。これは既存の機械機構を一切変更することなく、Elmo の効率性、無視できる EMI 動作、堅牢な動作といった能力とともに、より優れたサーボ制御に焦点を当てることで達成されました。