背景
自動試験機は、半導体、MEMS、電子基板を24時間365日検査する過酷な仕事である。世界有数の試験機設計・製造メーカーが、新しい8倍速フライングプローブ・テスターを導入する際、最大80万個の年間スループットに対応できる堅牢性を備えながら、小型部品に対応できる小型のmotion control 必要としていました。
このケーススタディを読むと、以下のことがわかる:
- マイクロコンポーネントの高いプローブ位置決め精度と繰り返し精度を実現
- X-Y-Z同期motion control機械のスループット向上
- ハイパワーでありながら超小型基板設計を実現

機械要件
同社が高速・高性能の自動8倍速フライングプローブ・テスターFP4080の開発に着手した際、年間80万枚に上る基板のテスト能力など、大量生産の要求に対応するための適切なモーションソリューションが必要だった。
スマートフォン、タブレット端末、ノートパソコン、組み込み型パソコン、ルーター、ウェアラブル機器、フレキシブル回路、ホームオートメーション機器などの電子製品で一般的に使用される、50μm以下のマイクロパッドや小型化された部品を搭載した高密度基板をテストするため、新しい装置には高いプローブ位置決め精度(20μm)と繰り返し精度(5μm)が要求された。
この装置には上下に8つのフライングプローブがあり、X-Y-Zの各軸にリニア光学式エンコーダーを取り付けたリニアモーションテクノロジーを使用して、必要な加速度と毎秒最大180タッチの速度を実現している。この装置は、生産環境で24時間365日連続稼動し、最小限のメンテナンスで済むように設計された。その12台のドライブは、機械の設置面積を小さくするため、小さなスペースに収まる必要がありました。
Motion control
- Gold Twitterサーボドライブ
- Platinum Maestroコントローラー
Gold Twitter
NANO Servo Drive Up to 5600 Watts
Up to 50A/60V, 70A/100V, 35A/200V
Platinum Maestro
High Precision Ethercat Muilti-Axis Motion Controller
Elmo’s nano Gold Twitter drive was chosen for the probe. Weighing only 18-22 g (<1 oz), its ultra-compact size made it possible for the customer to develop a special board for up to 12 drives that could fit into the small space while still providing high power—550 qualitative watts per drive. The installation of two boards with 12 axes each reduced the machine footprint and created a highly compact design.
このドライブは小型のため、モーターの近くに設置することができ、EMIを低減することができました。 Gold TwitterドライブにはElmo独自の高速ソフト・スイッチング(FASS)技術も採用されているため、99%以上の効率とごくわずかなEMIを実現し、キャビネットにかさばるEMIフィルタを設置する必要がありません。このドライブ・アルゴリズムにより、振動のない極めて高速な動作が可能になり、ローパス、ノッチ、リード/ラグ、一般的なバイ・クワッドなどの高度なスケジュールおよび固定フィルタリングにより、機械の安定性がさらに向上します。
電流制御は、高度で非常に高速なベクトル制御アルゴリズム(2000:1のダイナミックレンジ)と、バス電圧の変動を補償できる電流ループゲインスケジューリングによって達成された。位置制御と速度制御は、PTPアプリケーションで高速セトリングを実現する高度なアルゴリズムと、究極の速度ループ性能を実現する高次フィルタに基づく速度ゲインスケジューリングによって達成されました。
Platinum MaestroコントローラはEtherCATネットワーク上の全ての動作を調整します。この最高級コントローラは、高レベルの計算可能なマルチコアシステムを内蔵し、無制限のメモリとオンボードの追加ハードウェア周辺回路を備えています。 Platinum Maestroは、構造スマートビルディングブロック(IEC61131-3およびCPP)を使用して「プログラミング不要のモーション」をサポートし、ホストとコントローラ間の双方向メタデータ転送を可能にします。 Platinum Maestroは非常に効率的なEtherCATネットワーキングを利用し、サイクルタイムは100µsまで短縮され、ネットワークブリッジのための完全な冗長性サポートとEtherCATスレーブネットワークサポートを提供します。ライセンスは不要で、製造コストの大幅な節約につながります。
結果
ElmoX-Y-Z同期モーションは、顧客の以前のソリューションより23%速く、スループットも23%向上した。
サーボ性能が向上したことで、機械全体の安定性が向上し、花崗岩製ウェイトテーブルの厚さを500kg減らすことができた。
すべてのモジュールが機械に内蔵され、外付けのEMIフィルターは不要になった。これにより、マシンの設置面積が大幅に削減され、メンテナンスも容易になりました。
Elmo無償アプリケーション・スタジオ・ソフトウェア(EASII)のおかげで、開発コストをさらに削減することができました。「EASIIの直感的なデザインとロジックにより、同社は開発コストをさらに削減することができました。 EASIIの直感的な設計とロジックのおかげで、通常は経験豊富な上級のmotion control エンジニアに任せる作業を、チームに入ったばかりの若手エンジニアが完璧にこなせるようになりました。



