반도체 산업을 위한 정밀 기술을 선도하는 한 제조업체는 첨단 웨이퍼 프로빙 검사기를 개발하고 있었습니다. 반도체는 모든 것이 아주 작아야 하기 때문에 motion control 특히 까다롭습니다. 이 회사는 움직이는 부하 내에서 작동할 수 있을 만큼 작고 견고한 Elmo 서보 드라이브를 사용하여 부품을 없애고 비용을 절감하며 처리량을 늘렸습니다.

이 사례 연구를 읽고 Elmo 서보 드라이브의 작동 방식에 대해 알아보세요:

  • 기계 내부에 장착할 수 있어 케이블과 전기 박스가 필요 없고 기계 설치 공간을 30%까지 줄일 수 있습니다.
  • 무시할 수 있는 수준의 EMI를 생성하여 외부 필터의 필요성을 없애고 성능을 향상시킵니다.
  • 별도의 냉각 방법이 필요 없어 기계의 안정화 시간을 크게 줄여 에너지 효율을 높일 수 있습니다.

머신 요구 사항

이 장비에는 총 15개 이상의 동작 축이 있는 XY 스테이지가 있습니다. 웨이퍼 프로빙 측정은 매우 정확해야 하므로 시스템 내의 전기 노이즈를 최소화해야 했습니다. 고객은 부피가 크고 비용이 많이 들며 개발, 조립, 테스트에 많은 시간이 소요되는 외부 EMI 제거 부품을 사용하지 않기를 원했습니다.

또한 전체 처리량을 개선하는 동시에 30ms 미만의 정착 시간과 100nm 미만의 정지 지터를 달성하고자 했습니다.

Elmo Motion control 솔루션이 포함되어 있습니다:

고객이 선택한 Gold Solo Bell 서보 드라이브를 선택한 이유는 기계 내부와 움직이는 하중에 장착할 수 있을 만큼 작고, 기계에서 발생하는 기계적 충격과 높은 가속도를 견딜 수 있을 만큼 견고했기 때문입니다. 기계 내부에 드라이브를 설치하면 기계 안팎으로 케이블과 케이블 캐리어를 연결할 필요가 없고 전기 박스가 필요하지 않습니다. 이러한 요소를 제거함으로써 전체 기계 크기를 약 30% 줄일 수 있었습니다.

사용 Gold Solo Bell을 사용하여 기계의 정착 시간을 10ms 미만으로, 정지 지터를 20nm 미만으로 줄여 요구 사항보다 훨씬 낮췄습니다. 드라이브의 뛰어난 전력 변환 효율 덕분에 기계 자체의 효율성이 향상되어 지속적인 유지보수가 필요한 에너지 소비가 많은 냉각 방식이 필요하지 않게 되었습니다. Elmo무시할 수 있는 EMI로 인해 부피가 크고 값비싼 필터도 더 이상 필요하지 않게 되었고, 그 결과 더 간결하고 더 나은 성능의 기계가 탄생했습니다. 고객은 복잡한 환경에 맞는 EMI 감소 솔루션을 개발하고 테스트하는 데 시간과 노력을 투자하지 않고도 원하는 성능을 달성할 수 있었습니다.

그리고 Platinum Maestro 가 기계의 모션 축을 위한 마스터 컨트롤러로 선택되었습니다. 뛰어난 서보 드라이브와 다축 제어 기능의 결합으로 프로브 사이의 시간이 단축되어 전체 처리량이 크게 향상되었습니다.

결과

모든 motion control 처리하는 Elmo 제품을 통해 고객은 더 적은 비용으로 더 나은 성능을 갖춘 더 작은 기계를 만들 수 있었습니다. 웨이퍼 프로브 검사기 개발업체는 전자기 간섭을 줄이기 위한 외부 장치나 외부 냉각 및 환기 부품이 필요하지 않았기 때문에 Elmo motion control 솔루션을 통해 상당한 비용을 절감할 수 있었습니다.

이 프로젝트는 혁신적인 모션 기술을 통해 비용을 절감하는 동시에 전반적인 기계 생산성을 크게 향상시킬 수 있는 방법을 보여주는 좋은 예입니다. 이는 기존의 기계 메커니즘을 변경하지 않고도 효율성과 미미한 EMI 작동, 견고한 작동에 대한 Elmo역량과 함께 더 나은 서보 드라이브 제어에 집중함으로써 달성할 수 있었습니다.