반도체 산업을 위한 정밀 기술을 선도하는 한 제조업체가 고도로 자동화된 고처리량 웨이퍼 테스트를 위한 첨단 웨이퍼 프로빙 검사기를 개발 중입니다. XY 스테이지가 있는 이 기계에는 총 15개 이상의 모션 축이 있으며, 이 중 4개의 Elmo 축이 중요/고성능 기계 모션을 수행합니다. Platinum Maestro 도 모든 모션 축의 마스터 컨트롤러로 선택되었습니다.

웨이퍼 프로빙 머신은 반도체 제조 과정에서 웨이퍼를 개별 다이로 절단하기 전에 각 웨이퍼 다이의 집적 회로를 전기적으로 테스트하는 데 사용되는 자동 테스트 기계입니다. 이 과정에서 두 개의 프로브가 한 집적 회로에서 다른 집적 회로로 최대한 빠르게 이동하면서 회로 내의 트랜지스터, 상호 연결 및 기타 요소의 전기적 특성을 측정하고 평가합니다. 이러한 측정은 매우 정확해야 하므로 시스템 내의 전기 노이즈를 최소화해야 합니다.

Elmo완벽한 솔루션은 몇 가지 주요한 이유로 유리한 것으로 입증되었습니다. 경쟁사보다 뛰어난 서보 및 모션으로 인해 이동 간 정착 시간이 10ms(사양은 30ms)로 단축되었습니다. 이는 뛰어난 서보 및 다축 제어 기능의 결합된 결과로, 각 프로브 사이의 시간이 짧아지고 전반적인 처리량이 향상되었습니다. 또한 Elmo서보 제어는 정지 지터 ﹤ 20nm(사양 ﹤ 100nm)를 허용했습니다.

빠르고 부드러운 스위칭 기술(FASST) 덕분에 Elmo고유한 무시할 수 있는 EMI는 이러한 프로빙 머신에 매우 중요합니다. 프로브의 전기적 측정은 공정의 핵심 요소이며, 모든 EMI는 교란을 일으킬 수 있으므로 EMI 필터를 추가해야 합니다. Elmo무시할 수 있는 EMI를 통해 부피가 크고 비용이 많이 들고 시간이 많이 걸리는 필터를 더 이상 사용하지 않게 되었고, 그 결과 더 가볍고 성능이 뛰어난 장비를 사용할 수 있게 되었습니다. 고객은 원하는 성능을 달성하면서도 전기적으로 복잡한 환경을 위한 내성 솔루션을 개발하는 데 시간과 노력을 투자할 필요가 없었습니다.

전반적인 기계 생산성에 기여하는 것 외에도 Elmo독특한 물리적 특성은 기계를 더욱 개선했습니다. 초소형이지만 초강력 서보 드라이브는 기계 내부와 움직이는 하중에 장착되었습니다. 드라이브의 뛰어난 전력 변환 효율은 최소한의 크기에 크게 기여했으며, 유지보수 및 기타 오버헤드가 필요한 냉각 방식이 줄어들어 기계 자체의 효율성이 높아졌습니다. 드라이브가 기계적 충격과 높은 가속도를 견딜 수 있기 때문에 기계 내부 깊숙한 곳과 움직이는 기계에 설치하면 기계 안팎으로 흐르는 케이블과 케이블 캐리어뿐만 아니라 사실상 전체 전기 박스를 절약할 수 있습니다. 전기 박스를 제거함으로써 약 30%의 부피를 줄일 수 있었습니다.

이 프로젝트는 고객이 혁신적인 모션 기술을 통해 비용을 절감하는 동시에 전반적인 기계 생산성을 크게 향상시킬 수 있었던 방법을 보여주는 예시입니다. 전체 처리량은 대폭 개선되는 동시에 기계 설치 공간은 줄었습니다. 이는 기존의 기계 메커니즘을 변경하지 않고도 효율성과 미미한 EMI 작동, 견고한 작동에 대한 Elmo역량과 함께 더 나은 서보 제어에 집중함으로써 달성할 수 있었습니다.