Wafer Probing

Elmoのサーボ技術により、ウェーハ試験機のスループットが向上します。

ウェーハプローバは、半導体の開発・製造工程においてウェーハの電気試験に使用されるシステムです。半導体メーカーは、ウェーハ上の部品の一次特性評価としてウェーハプロービングを使用します。試験機の高速、スムーズ、かつ正確な動作を実現するために、 Elmo 完全なmotion control 製品メーカー向けのソリューション。

世界的な業界標準に完全に準拠し、 Elmoのサーボドライブは、比類のない性能、機能、柔軟性を備えています。最先端のEtherCATおよびCANopenネットワーク通信の能力を最大限に活用できます。高度なサーボ制御機能により、機械の整定時間を最小限に抑えながら、スループットを向上させることができます。 Elmoの製品は、ウェーハプロービングメーカーに最適です。