平面X/Yシステムのための MIMO (多入力多出力) 制御構造ソリューション
で使用:
- 半導体製造(OLED、LCD、FPD)
- 検査・スキャンシステム
- ピック&プレース・マシン
- 2次元ステージ 駆動チューニング
で使用:
平面X/Yステージは、卓越した精度と平面平坦性を提供します。半導体製造や一般産業において、ますます多様なアプリケーションで使用されています。

高度な平面X/Yシステムは、多入力多出力(MIMO)アルゴリズムに基づく特殊な制御構造を使用し、非常に複雑な動作をサポートする。 これらのシステムは、高速通信、動的エラー訂正が可能であり、またネットワークで動作できる必要がある。
Elmo 、Planar X/Y用の高効率なマスター・スレーブMIMO構成を提供します。 スタンドアロンまたは分散型motion control 実装できます。 Elmo制御構造は標準的な構成制御ループを使用しているため、他のPlanar X/Yシステムよりも実装が簡単です。
Elmo実装は、ドライブの構成やチューニング、ケーブル配線の要件も簡素化します。