平面X/Yシステムのための MIMO (多入力多出力) 制御構造ソリューション

で使用:

  • 半導体製造(OLED、LCD、FPD)
  • 検査・スキャンシステム
  • ピック&プレース・マシン
  • 2次元ステージ 駆動チューニング

説明

平面X/Yステージは、卓越した精度と平面平坦性を提供します。半導体製造や一般産業において、ますます多様なアプリケーションで使用されています。

高度な平面X/Yシステムは、多入力多出力(MIMO)アルゴリズムに基づく特殊な制御構造を使用し、非常に複雑な動作をサポートする。 これらのシステムは、高速通信、動的エラー訂正が可能であり、またネットワークで動作できる必要がある。

Elmo 、Planar X/Y用の高効率なマスター・スレーブMIMO構成を提供します。 スタンドアロンまたは分散型motion control 実装できます。 Elmo制御構造は標準的な構成制御ループを使用しているため、他のPlanar X/Yシステムよりも実装が簡単です。

Elmo実装は、ドライブの構成やチューニング、ケーブル配線の要件も簡素化します。

 

デザインの特徴

  • 多入力多出力(MIMO)アルゴリズムの実装
  • Elmoマスター/スレーブ構成と標準制御ループを使用
  • 周期位置(IP CANopen)とPPスキームの両方が使用可能
  • 1D/2Dダイナミックエラーコレクション
  • ネットワークベースのソリューションにより、モジュール式システムを実現
  • 全ドライブ間の高速、差動免疫通信